重要外形尺寸(Critical Dimension, 卡帶)便是MEMS組裝過程中均比較極其重要的的術語,主要就指稱的的在發微
Technology VeritySEM® 10 卡帶-SEM 數目測系統專門用於直觀精確測量由其極其熒光 (EUV) 及新興低數值孔徑 (High-VT) EUV微影控制技術時所表述的的石墨模組的的關鍵性大小 critical probability)。 但此模塊為客戶提供了能技術領先業內的次nm激光束(eBEAM)求解
為客戶提供光電工業優秀晶片檢測所需要進行之重要尺碼測譬如一流芯片之線離、線寬及非輕薄聚合物長度,幫助增進電子元件優秀矽之數量量度產品品質,大幅提升積體電路良品率。
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關鍵尺寸|奈米與半導體產業計量研究室 - 書桌對窗戶 -